電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)

VS5電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國(guó)牛津真空公司生產(chǎn)，臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性?xún)r(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。 通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱(chēng)為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。

VS5電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國(guó)牛津真空公司生產(chǎn)，臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性?xún)r(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。
通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱(chēng)為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。

                           
技術(shù)規(guī)格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋轉(zhuǎn)：0~10rpm；
- 熱蒸發(fā)源：電阻式熱蒸發(fā)舟，交流電源；
- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶(hù)選擇；
- 泵：前級(jí)干泵，分子泵；
- Load Lock樣品傳輸腔室：手動(dòng)或自動(dòng)傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動(dòng)控制、數(shù)據(jù)處理、遠(yuǎn)程支持；
- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(cè)(QCM)，光學(xué)監(jiān)測(cè)，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測(cè)技術(shù)或控制；
- 襯底固定：?jiǎn)我r底固定，客戶(hù)化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；